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专利、报告等 一种等离子刻蚀设备的刻蚀终点检测装置与方法
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专利类型： 发明专利 申请/专利号： CN200710062687.1 申请日期： 2007-01-12 公开/公告号： CN101221891 公开/公告日： 2008-07-16 主分类号： H01L21/00(2006.01)I 分类号： H01L21/00(2006.01)IH01L21/66(2006.01)IH01L21/00H01L21/66 申请/专利权人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
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