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 Thermal atomic layer deposition of Ga2O3 films using trimethylgallium and H2O 相关领域
三甲基镓
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Chia‐Hung Hou; Kai Liang; Wenlong Yang; Qiang Wang; Yuefei Zhang; et al 出版日期：2024-11-12 |
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