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Dynamics of Plasma‐Assisted Epitaxial Silicon Growth Driven by a Hydrogen‐Incorporated Nanostructure for Novel Applications 掺氢纳米结构驱动的等离子体辅助外延硅生长动力学
相关领域
纳米结构
材料科学
硅
纳米技术
等离子体
外延
氢
制作
化学工程
光电子学
化学
图层(电子)
物理
有机化学
病理
工程类
替代医学
医学
量子力学
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期刊:Small Structures 作者:Joon‐Ho Oh; Tae Kyung Lee; R. Kim; Jeong-Ho An; Sung‐In Mo; et al 出版日期:2023-12-19 |
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