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 Phase Composition and Surface Morphology of Thin AlN Films Obtained trough Magnetron Sputtering 磁控溅射AlN薄膜的相组成和表面形貌
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期刊：High Energy Chemistry 作者：Л. В. Баранова; В. И. Струнин; B. T. Baysova; N. A. Chirikov 出版日期：2023-09-08 |
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