标题 |
Dual-frequency piezoelectric MEMS microphones based on AlSc30%N thin films for aeroacoustic measurements
基于AlSc30%N薄膜的双频压电MEMS气动声学传声器
相关领域
材料科学
微电子机械系统
激光多普勒测振仪
微加工
声学
锆钛酸铅
灵敏度(控制系统)
悬臂梁
压电
电子工程
光电子学
制作
工程类
复合材料
物理
波长
医学
替代医学
病理
分布反馈激光器
电介质
铁电性
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Lixiang Wu; Yanfen Zhai; Onteru Lokesh; Claire Bourquard; Javad Abbaszadeh; et al 出版日期:2023-06-08 |
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