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标题
Growth Per Cycle in Atomic Layer Deposition: Real Application Examplesof a Theoretical Model
原子层沉积中的周期生长:一个理论模型的实际应用实例
相关领域
原子层沉积 四氯化钛 化学 沉积(地质) 四氯化物 材料科学 化学工程 无机化学 氧化物 图层(电子) 纳米技术 有机化学 工程类 地质学 沉积物 古生物学
网址
DOI
10.1002/cvde.200306266 doi
其它 期刊:Chemical Vapor Deposition
作者:Riikka L. Puurunen
出版日期:2003-12-17
求助人
年轻鲜花 在 2024-03-21 22:06:37 发布自福建,悬赏 10 积分
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