A Monolithic LTCC-MEMS Microfabrication Process

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标题	A Monolithic LTCC-MEMS Microfabrication Process 一种单片LTCC-MEMS微加工工艺相关领域微电子机械系统材料科学制作抛光微加工光电子学表面粗糙度基质（水族馆）化学机械平面化光刻平版印刷术电子工程复合材料工程类医学海洋学替代医学病理地质学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3310932
DOI	10.1109/jmems.2023.3310932 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Ehsan Fallahnia; Ammar B. Kouki 出版日期：2023-09-08
求助人	六便士在 2025-07-07 16:14:28 发布自广东，悬赏 10 积分
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