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 Charge balance effect on the phase stability and reliability in doped HfO2-ZrO2 superlattice films for further DRAM capacitors: A first-principles study 电荷平衡对用于进一步DRAM电容器的掺杂HfO2-ZrO2超晶格膜相稳定性和可靠性的影响：第一性原理研究
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