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 Moisture barrier properties of low-temperature atomic layer deposited Al2O3 using various oxidants 不同氧化剂低温原子层沉积Al2O3的防潮性能
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材料科学
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期刊：Ceramics International 作者：Taewook Nam; Haksoo Lee; Seung Gi Seo; Sung Min Cho; Bonggeun Shong; et al 出版日期：2019-10-15 |
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