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标题
Role of Hydrogen in Polycrystalline Si by Excimer Laser Annealing
氢在准分子激光退火多晶硅中的作用
相关领域
微晶 准分子激光器 材料科学 退火(玻璃) 激光器 准分子 光电子学 光学 冶金 化学 物理 有机化学
网址
DOI
10.1093/ietele/e88-c.2.241 doi
其它 期刊:IEICE Transactions on Electronics
作者:Naoya Kawamoto
出版日期:2005-02-01
求助人
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