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Impurity diffusion in ion implanted AlN layers on sapphire substrates by thermal annealing
蓝宝石衬底上离子注入AlN层中杂质的热退火扩散
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材料科学
退火(玻璃)
硅
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蓝宝石上的硅
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期刊:Japanese journal of applied physics 作者:Hironori Okumura; Yasuhiro Watanabe; Tomohiko Shibata; Kentaro Yoshizawa; Akira Uedono; et al 出版日期:2022-02-01 |
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