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 Defect detection and classification on semiconductor wafers using two-stage geometric transformation-based data augmentation and SqueezeNet lightweight convolutional neural network 基于两阶段几何变换数据扩充和SqueezeNet轻量级卷积神经网络的半导体晶片缺陷检测与分类
相关领域
卷积神经网络
计算机科学
人工智能
转化（遗传学）
深度学习
人工神经网络
自动化
半导体器件制造
薄脆饼
机器学习
半导体工业
钥匙（锁）
模式识别（心理学）
工业工程
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基因
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期刊：Computers & Industrial Engineering 作者：Francisco López de la Rosa; José L. Gómez-Sirvent; Rafael Morales Herrera; Roberto Sánchez-Reolid; Antonio Fernández-Caballero 出版日期：2023-09-01 |
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