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 Study on the mechanism of glass-SiC-glass anodic bonding process 玻璃-SiC-玻璃阳极键合工艺机理研究
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xiao Cheng; Lifang Hu; Wei Liu; Zhao Chou; Weijie Jia; et al 出版日期：2024-03-21 |
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