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 Simulation study of lateral CEFT logic performance at 3 nm Node 3nm节点横向CEFT逻辑性能仿真研究
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期刊：Microelectronics Journal 作者：Guanguo Wen; Qiang Long; Xinlong Shi; Ying Wang; Feng Liu; et al 出版日期：2023-07-12 |
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