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标题
Acoustic wave amplification with thin film silicon bonded on lithium niobate
铌酸锂上键合硅薄膜的声波放大
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铌酸锂 声表面波 材料科学 微系统 压电 绝缘体上的硅 薄脆饼 声波 光电子学 声学 信号(编程语言) 光学 电气工程 计算机科学 物理 工程类 纳米技术 复合材料 程序设计语言
网址
DOI
10.1088/1361-6439/ac9289 doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Siddhartha Ghosh
出版日期:2022-09-16
求助人
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