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  Optimization of Fabrication Process for SiON/SiOx Films Applicable as Optical Waveguides 相关领域
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
氮化硅
折射率
椭圆偏振法
薄脆饼
反射计
化学气相沉积
体积流量
沉积（地质）
表面粗糙度
折射率分布
光电子学
波导管
光学
硅
薄膜
氮化硅
纳米技术
复合材料
时域
古生物学
物理
量子力学
沉积物
计算机科学
计算机视觉
生物
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期刊：Coatings 作者：Ľuboš Podlucký; Andrej Vincze; Soňa Kováčová; Juraj Chlpík; Jaroslav Kováč; František Uherek 出版日期：2021 |
| 求助人 |
韦涔
在
2021-09-08 10:46:20 发布，悬赏 10 积分
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