Synthesis and Characterization of Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) Ceramic Target via Modified Solid-State Reaction Method

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标题	[高分] Synthesis and Characterization of Hf0.5Zr0.5O2 (HZO) Ceramic Target via Modified Solid-State Reaction Method 相关领域材料科学表征（材料科学）化学工程陶瓷固态相（物质）
网址	https://www.ingentaconnect.com/contentone/asp/jno/2021/00000...
DOI	10.1166/jno.2021.3010 doi
求助人	Aliez 在 2022-07-06 21:01:29 发布自上海，悬赏 400 积分
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