A review of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor in Mainland China

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标题	A review of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor in Mainland China 相关领域微电子机械系统薄脆饼纳米技术材料科学氟利昂电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac5b98
DOI	10.1088/1361-6439/ac5b98 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Gaoqiang Niu; Fabio Santagata 出版日期：2022-03-08
求助人	梅虎在 2023-04-12 15:33:19 发布自浙江，悬赏 10 积分
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