Locally enhanced discharges at gas hole outlets of a showerhead in a plasma etching reactor

已完结

文献求助详情

标题	Locally enhanced discharges at gas hole outlets of a showerhead in a plasma etching reactor 相关领域等离子体蚀刻（微加工）气体放电等离子体刻蚀电子托尔等离子清洗原子物理学气体压力电子空穴材料科学核工程化学物理纳米技术石油工程地质学核物理学图层（电子）热力学工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/0022-3727/42/3/032003
DOI	10.1088/0022-3727/42/3/032003 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：Kazuki Denpoh 出版日期：2009-02-07
求助人	Bonniex 在 2022-10-10 17:39:06 发布自广东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 论文查重

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

更新

新增期刊收藏功能 (2024-03-23)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 不爱学习的小渣渣完成签到，获得积分10

1秒前; 兰天完成签到，获得积分10

2秒前; 飞飞飞发布了新的文献求助10

6秒前; 彭于晏上传了应助文件

8秒前; 搜集达人的应助被pierolahm采纳，获得10

9秒前; Walton发布了新的文献求助30

9秒前; joye完成签到，获得积分10

10秒前; 大气的向松完成签到，获得积分10

12秒前; DrW发布了新的文献求助10

13秒前; 芷烟完成签到，获得积分10

14秒前; 田様的应助被时尚觅松采纳，获得10

17秒前; 完美世界上传了应助文件

19秒前; Cher.完成签到，获得积分10

21秒前; 鎏清畵给鎏清畵的求助进行了留言

22秒前; 慕青上传了应助文件

23秒前; 沙111发布了新的文献求助10

24秒前; yuxixi完成签到，获得积分10

26秒前; tingtingzhang完成签到，获得积分10

26秒前; everglow完成签到，获得积分20

32秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

34秒前; 16发布了新的文献求助10

35秒前; 华仔上传了应助文件

39秒前; 共享精神的应助被微不足道采纳，获得10

39秒前; 英俊的铭的应助被123456采纳，获得10

39秒前; 温言叮叮铛完成签到，获得积分10

40秒前; 计伟发布了新的文献求助10

41秒前; 星辰大海的应助被tuanheqi采纳，获得20

42秒前; Owen的应助被谨慎哈密瓜采纳，获得10

42秒前; 英姑上传了应助文件

43秒前; 16完成签到，获得积分10

44秒前; DrW发布了新的文献求助10

47秒前; dd发布了新的文献求助10

49秒前; yYy发布了新的文献求助10

49秒前; Ava的应助被dd采纳，获得10

53秒前; CipherSage上传了应助文件

54秒前; 树叶的应助被酷炫梦蕊采纳，获得10

56秒前; 沙111完成签到，获得积分10

58秒前; Buuuke完成签到，获得积分10

59秒前; 天天快乐上传了应助文件

59秒前; 在水一方的应助被nhsyb嘉采纳，获得10

1分钟前