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[高分]
 Improved adhesion of novolac and epoxy based resists by cationic organic materials on critical substrates for high volume patterning applications 通过阳离子有机材料改善酚醛清漆和环氧基抗蚀剂在用于大批量图案化应用的关键基材上的粘附性
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Anja Voigt; Gisela Ahrens; Marina Heinrich; Andrew Thompson; G. Gruetzner 出版日期：2014-03-27 |
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