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![]() 基于薄陶瓷PZT的高SPL压电MEMS扬声器
相关领域
微电子机械系统
压电
材料科学
陶瓷
制作
基质(水族馆)
声学
电压
足迹
光电子学
电气工程
工程类
复合材料
物理
海洋学
地质学
生物
医学
病理
古生物学
替代医学
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DOI | |
其它 |
期刊:Sensors and Actuators A-physical 作者:Haoran Wang; Zhenfang Chen; Huikai Xie 出版日期:2020-07-01 |
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