Wafer-size VO2 film prepared by water-vapor oxidant

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标题	Wafer-size VO2 film prepared by water-vapor oxidant 水蒸气氧化剂制备晶片尺寸的VO2薄膜相关领域氧化剂材料科学水蒸气结晶度薄脆饼退火（玻璃）化学工程单斜晶系氧气化学计量学钒热氧化分压纳米技术分析化学（期刊）化学复合材料物理化学冶金结晶学有机化学晶体结构工程类图层（电子）
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2020.146642 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Hui Ren; Bowen Li; Xiaoyu Zhou; Shi Chen; Yamin Li; et al 出版日期：2020-05-11
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