标题 |
Calculation of the electrode shape for suppression of the standing wave effect in large area rectangular capacitively coupled reactors
抑制大面积矩形电容耦合电抗器驻波效应的电极形状计算
相关领域
驻波
激发
电极
无线电频率
等离子体
容性耦合等离子体
职位(财务)
声学
高斯分布
材料科学
工作(物理)
物理
机械
计算物理学
光学
电气工程
感应耦合等离子体
工程类
量子力学
财务
经济
热力学
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其它 |
期刊:Journal of applied physics 作者:L. Sansonnens 出版日期:2005-03-09 |
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