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标题
Computational Modeling of Magnetron Sputtering for Thin-Film Materials: Optimizing Deposition and Analyzing Morphology
薄膜材料磁控溅射的计算模拟：优化沉积和分析形貌
相关领域
溅射沉积 材料科学 形态学（生物学） 沉积（地质） 薄膜 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 溅射 光电子学 工程物理 纳米技术 物理 地质学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.3103/s1068335624600694
DOI
10.3103/s1068335624600694 doi
其它 期刊：Bulletin of the Lebedev Physics Institute
作者：Abdelkader Bouazza
出版日期：2024-09-01
求助人
活力的涔 在 2025-12-22 14:07:23 发布自陕西，悬赏 10 积分
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