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标题
Fabrication of 4H-SiC piezoresistive pressure sensor for high temperature using an integrated femtosecond laser-assisted plasma etching method
飞秒激光辅助等离子体刻蚀制备4H-SiC高温压阻压力传感器
相关领域
材料科学 激光器 飞秒 各向同性腐蚀 光电子学 蚀刻（微加工） 压阻效应 制作 微电子机械系统 复合材料 光学 医学 物理 替代医学 图层（电子） 病理
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.06.112
DOI
10.1016/j.ceramint.2023.06.112 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Chen Wu; Xudong Fang; Ziyan Fang; Hao Sun; Sheng Li; et al
出版日期：2023-09-01
求助人
Alisa 在 2024-03-30 17:30:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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