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标题
New theoretical model of the evolution of blazed gratings in the ion beam etching process
离子束刻蚀过程中闪耀光栅演化的新理论模型
相关领域
光学 材料科学 制作 蚀刻(微加工) 闪耀光栅 过程(计算) 衍射光栅 扫描电子显微镜 衍射效率 栅栏 光电子学 纳米技术 计算机科学 物理 图层(电子) 操作系统 医学 替代医学 病理
网址
DOI
10.1364/ome.488817 doi
其它 期刊:Optical Materials Express
作者:Jie Yuan; Xingyu Li; Lulu Guan; Zhuang Liu; Shuo Dong; et al
出版日期:2023-04-05
求助人
sandy_bear 在 2025-07-16 09:56:56 发布自广东,悬赏 10 积分
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