发布文献求助
清晨好，您是今天最早来到科研通的研友！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您科研之路漫漫前行！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Source-mask co-optimization study for typical EUV design rule patterns with 40nm minimum pitch
最小间距40nm典型EUV设计规则图案的源掩膜协同优化研究
相关领域
十字线 极紫外光刻 计算机科学 生产线后端 薄脆饼 平版印刷术 激光线宽 光刻 多重图案 临界尺寸 过程（计算） 遮罩（插图） 步进电机 光学 抵抗 材料科学 光电子学 物理 纳米技术 电信 激光器 图层（电子） 视觉艺术 艺术 互连 操作系统
网址
https://doi.org/10.1117/12.3052439
DOI
10.1117/12.3052439 doi
其它 期刊：
作者：Qi Wang; Xianhe Liu; Qiang Wu; Minghao Yin; Yanli Li
出版日期：2024-12-10
求助人
卞仁吉 在 2025-12-18 20:01:01 发布自浙江，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Self-aligned blocking integration demonstration for critical sub-40nm pitch Mx level patterning
  2. Photomask Fabrication Procedures and Limitations
  3. CD control comparison of step-and-repeat versus step-and-scan DUV lithography for sub-0.25-μm gate ...
  4. Design and Fabrication of MOS Device Circuits with Reticle-Free Exposure Method
  5. One Micron 1X Stepper Photolithography: An Introductory View
  6. Phase-shift reticles for the fabrication of subhalf-micron gates in GaAs integrated circuits using o...
  7. Detectability and printability of programmed defect reticle for 256-Mb DRAM
  8. STARR: Stepper Test Alignment Resolution Reticle For The Lithographic Characterization Of A Sub-Micr...
  9. A holistic study on metal pitch uniformity control in the scheme of self-aligned double patterning
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 10小时前

    奥ID风景区哦我网二GV 奥ID风景区哦我网二GV Lv2 上传了文件

    待审核 134230B.pdf (591.9 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 10小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    20:01:05 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    20:01:01 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    20:01:01 已向机器人发送请求

  • 10小时前

    卞仁吉 卞仁吉 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
6秒前
23秒前
33秒前
34秒前
zijingsy完成签到 ，获得积分0
37秒前
39秒前
41秒前
SUNNYONE完成签到 ，获得积分10
44秒前
千里草完成签到，获得积分10
45秒前
cgs完成签到 ，获得积分10
1分钟前
lx完成签到，获得积分10
1分钟前
迷茫的一代完成签到，获得积分10
1分钟前
1437594843完成签到 ，获得积分10
1分钟前
laber完成签到，获得积分0
1分钟前
懒得起名字完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
云柔竹劲发布了新的文献求助10
1分钟前
云柔竹劲完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
SiboN发布了新的文献求助10
2分钟前
蔡从安发布了新的文献求助10
2分钟前
NINI完成签到 ，获得积分10
2分钟前
2分钟前
dywen完成签到，获得积分10
2分钟前
SiboN完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
欢呼亦绿完成签到，获得积分10
2分钟前
1323834289发布了新的文献求助10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
邓代容完成签到 ，获得积分0
3分钟前
3分钟前
3分钟前
jekyll发布了新的文献求助10
3分钟前
专注的觅云完成签到 ，获得积分10
3分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Iron toxicity and hematopoietic cell transplantation: do we understand why iron affects transplant outcome? 2000
Teacher Wellbeing: Noticing, Nurturing, Sustaining, and Flourishing in Schools 1200
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1041
睡眠呼吸障碍治疗学 600
A Technologist’s Guide to Performing Sleep Studies 500
EEG in Childhood Epilepsy: Initial Presentation & Long-Term Follow-Up 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5488738
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4587443
关于积分的说明 14413997
捐赠科研通 4518978
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2476158
邀请新用户注册赠送积分活动 1461587
关于科研通互助平台的介绍 1434673
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通