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In-depth study of silicon-oxide thin films: Effect of N2O/SiH4 gas mixture 氧化硅薄膜的深入研究:N2O/SiH4气体混合物的影响
相关领域
材料科学
氧化硅
硅
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期刊:Nucleation and Atmospheric Aerosols 作者:Pavel Calta; P. Šutta; Rostislav Medlín; J. Minář 出版日期:2024-01-01 |
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