Fabrication of ultra-shallow junction by in situ doped amorphous silicon films and its application in silicon drift detectors - 科研通

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标题	Fabrication of ultra-shallow junction by in situ doped amorphous silicon films and its application in silicon drift detectors 原位掺杂非晶硅超浅结的制备及其在硅漂移探测器中的应用相关领域硅非晶硅制作兴奋剂原位材料科学光电子学探测器晶体硅化学电气工程工程类医学病理有机化学替代医学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac27d3
DOI	10.1088/1361-6463/ac27d3 doi
其它	期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Shuai Jiang; Rui Jia; Ke Tao; Longjie Wang; Wei Luo; et al 出版日期：2021-09-17
求助人	Planck 在 2025-05-27 14:06:00 发布自浙江，悬赏 10 积分
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