Characterization of dielectric diffraction gratings on multilayer structures by spectroscopic ellipsometry - 科研通

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标题	Characterization of dielectric diffraction gratings on multilayer structures by spectroscopic ellipsometry 多层结构介质衍射光栅的椭偏光谱表征相关领域椭圆偏振法栅栏光学衍射光栅材料科学电介质衍射表征（材料科学）光电子学物理薄膜纳米技术
网址	https://doi.org/10.1063/5.0215882 AI链接 aip.orgdoi.org
DOI	10.1063/5.0215882 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Sebastian Henn; Marius Grundmann; Chris Sturm 出版日期：2024-08-15
求助人	玛卡巴卡在 2025-04-01 21:13:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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