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Review Paper: Residual Stresses in Deposited Thin-Film Material Layers for Micro- and Nano-Systems Manufacturing
综述论文：用于微米和纳米系统制造的沉积薄膜材料层中的残余应力
相关领域
残余应力 材料科学 薄膜 残余物 复合材料 沉积（地质） 图层（电子） 极限抗拉强度 基质（水族馆） 压力（语言学） 纳米技术 计算机科学 生物 海洋学 沉积物 地质学 哲学 古生物学 语言学 算法
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/13/12/2084/pdf?version=166971...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi13122084 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Michael Huff
出版日期：2022-11-26
求助人
zkl 在 2025-06-17 23:23:32 发布自湖南，悬赏 10 积分
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