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Advances and challenges in Copper–Copper bonding for 3D packaging interconnects 相关领域
材料科学
互连
直接结合
化学机械平面化
堆积
引线键合
电迁移
纳米技术
抛光
半导体工业
三维集成电路
集成电路封装
可靠性(半导体)
微观结构
半导体
过程(计算)
热压连接
机械工程
表面改性
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工程物理
半导体器件
炸薯条
粘结强度
表面完整性
扩散焊
倒装芯片
电子设备和系统的热管理
热的
微电子
过程开发
阳极连接
工作(物理)
混合动力系统
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期刊:Journal of Science: Advanced Materials and Devices 作者:Yueting Zheng; Hao Cui; Anyang Yu 出版日期:2026-06-01 |
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