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标题
Comparative study of rapid and classical thermal phosphorus diffusion on polycrystalline silicon thin films
多晶硅薄膜上快速与经典热磷扩散的比较研究
相关领域
多晶硅 材料科学 兴奋剂 共发射极 莫来石 化学气相沉积 硅 扩散 微晶 太阳能电池 制作 陶瓷 光电子学 化学工程 矿物学 纳米技术 图层（电子） 化学 复合材料 冶金 医学 物理 替代医学 病理 工程类 热力学 薄膜晶体管
网址
https://doi.org/10.1016/s0927-0248(00)00131-8
DOI
10.1016/s0927-0248(00)00131-8 doi
其它 期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells
作者：S. Bourdais; G. Beaucarne; A. Slaoui; J. Poortmans; B. Semmache; et al
出版日期：2001-01-01
求助人
贺贺 在 2025-09-15 14:28:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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