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  Extending atomic layer deposition for use in next-generation piezoMEMS: Review and perspective 相关领域
原子层沉积
锆钛酸铅
材料科学
微电子机械系统
压电
纳米技术
执行机构
制作
杠杆（统计）
氮化物
光电子学
工程物理
薄膜
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机械工程
计算机科学
工程类
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病理
医学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Nicholas A. Strnad; Daniel M. Potrepka; Brendan Hanrahan; Glen R. Fox; Ronald G. Polcawich; et al 出版日期：2023-07-11 |
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