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Determination of the Thickness of Silazane-Based SiOx Coatings in the Submicrometer Range by Near-Infrared Reflection Spectroscopy
近红外反射光谱法测定亚微米范围内硅氮烷基SiOx涂层厚度
相关领域
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期刊:Applied Spectroscopy 作者:Tom Scherzer; Gabriele Mirschel; Katja Heymann; Lutz Prager; Michael R. Buchmeiser 出版日期:2009-10-14 |
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