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![]() HMDS气体和RF-PECVD工艺制备掺硅DLC薄膜的组织和性能
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期刊:Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者:Byung Ju Song; Woo Jin Song; Jun Hyun Han; Ka Ram Kim; Su-Jong Yoon; et al 出版日期:2014-09-25 |
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