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标题
[高分] Microstructure and Properties of Silicon-Incorporated DLC Film Fabricated Using HMDS Gas and RF-PECVD Process
HMDS气体和RF-PECVD工艺制备掺硅DLC薄膜的组织和性能
相关领域
材料科学 微观结构 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 基质(水族馆) 类金刚石碳 钻石 碳膜 碳纤维 腐蚀 冶金 薄膜 复合材料 化学工程 纳米技术 复合数 海洋学 地质学 工程类
网址
DOI
10.1166/jnn.2014.10101 doi
其它 期刊:Journal of Nanoscience and Nanotechnology
作者:Byung Ju Song; Woo Jin Song; Jun Hyun Han; Ka Ram Kim; Su-Jong Yoon; et al
出版日期:2014-09-25
求助人
hh 在 2025-02-10 18:00:09 发布自湖北,悬赏 150 积分
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