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 Decoupled measurement of silicon-based film and substrate thickness by hybrid reflectance spectroscopy 混合反射光谱法解耦测量硅基薄膜和衬底厚度
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期刊：Optics and Laser Technology 作者：Chuanyi Bai; Xinlei Sun; Zhaoran Liu; Baoxin Niu; Zizheng Wang; et al 出版日期：2024-11-17 |
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