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Etch product dynamics of polyphenylene oxide laminates using a carbon tetra fluoride/oxygen/argon downstream microwave plasma
使用四氟化碳/氧/氩下游微波等离子体蚀刻聚苯醚层压板的产物动力学
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期刊： 作者：Chia-Chang Hsu 出版日期：1999-01-01 |
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