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 Micro-profiling of 4H-SiC by Dry Etching to Form a Schottky Barrier Diode 干法刻蚀4H-SiC微轮廓形成肖特基势垒二极管
相关领域
材料科学
反应离子刻蚀
蚀刻（微加工）
制作
光电子学
肖特基势垒
干法蚀刻
肖特基二极管
外延
二极管
等离子体
纳米技术
图层（电子）
病理
物理
替代医学
医学
量子力学
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Semiconductors 作者：N. D. Il’inskaya; N. M. Lebedeva; Yu. M. Zadiranov; P. A. Ivanov; T. P. Samsonova; et al 出版日期：2020-01-01 |
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