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 Effect of bias voltage on the erosion performance of TiAlSiN coatings on TC6 substrate by high power impulse magnetron sputtering 偏压对TC6基体上大功率脉冲磁控溅射TiAlSiN涂层侵蚀性能的影响
相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
纳米压痕
偏压
复合材料
溅射沉积
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Li Hua; Liuhe Li; Xiaoting Wang; Guodong Li; Duoduo Li; et al 出版日期：2023-11-30 |
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慕夏
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