Millimeter Wave Thin-Film Bulk Acoustic Resonator in Sputtered Scandium Aluminum Nitride

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标题	Millimeter Wave Thin-Film Bulk Acoustic Resonator in Sputtered Scandium Aluminum Nitride 溅射氮化钪铝毫米波薄膜体声谐振器相关领域谐振器材料科学数学物理分析化学（期刊）光电子学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3321284
DOI	10.1109/jmems.2023.3321284 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Sinwoo Cho; Omar Barrera; Pietro Simeoni; E. D. Marshall; Jack Kramer; et al 出版日期：2023-12-01
求助人	qingxia 在 2024-05-15 13:06:28 发布自美国，悬赏 10 积分
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