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Fabrication of high aspect ratio grooves on aluminium nitride by laser and chemical milling enhanced micro milling
激光和化学铣削复合微铣削技术在氮化铝表面制备大展弦比凹槽
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期刊:Journal of Materials Processing Technology 作者:Ni Chen; Jiawei Liu; Ning He; Xingzhi Xiao; Jichang Zhao; et al 出版日期:2024-04-01 |
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