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 The sputtering performance of Ag sputtering targets with different microstructure 不同微结构银溅射靶材的溅射性能
相关领域
溅射
退火（玻璃）
微观结构
溅射沉积
材料科学
电阻率和电导率
复合材料
冶金
纳米技术
薄膜
电气工程
工程类
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| DOI | |
| 其它 | Z Ning, Y Wang, S Li, K Tang, M Wen - Vacuum, 2023 - Elsevier |
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