Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance

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标题	Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance 氧化铝悬浮液分散稳定性及化学机械抛光性能的改善相关领域分散剂材料科学 Zeta电位化学工程分散稳定性分散性悬挂（拓扑）复合材料聚乙二醇吸附色散（光学） PEG比率粘度粒径高分子化学化学纳米颗粒纳米技术光学有机化学工程类物理聚合物经济同伦纯数学数学财务
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.153703
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.153703 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Wantang Wang; Baoguo Zhang; Yunhui Shi; D. K. Zhou; Ru Wang 出版日期：2022-05-18
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