Analysis of Focus Ring Effect on Ion Angle Distribution in a Pulsed RF Capacitively Coupled Plasma Using a Two-Dimensional Particle-in-Cell Simulation

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标题	Analysis of Focus Ring Effect on Ion Angle Distribution in a Pulsed RF Capacitively Coupled Plasma Using a Two-Dimensional Particle-in-Cell Simulation
网址	https://doi.org/10.1109/ICOPS45740.2023.10481224
DOI	10.1109/ICOPS45740.2023.10481224 doi
其它	期刊：2023 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) 作者：S. J. Hwang; H. H. Kim; J. H. Shin; H. J. Lee 出版日期：2023
求助人	等待绮兰在 2026-03-16 15:01:39 发布自中国，悬赏 10 积分
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