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![]() 厘米行程闭环压电摩擦惯性XY定位平台的设计
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期刊:Actuators 作者:Zhengrong Guo; Hong-Sheng Tan; C. O. Chang; Ing‐Shouh Hwang; En‐Te Hwu; et al 出版日期:2025-05-28 |
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