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 AlN FBAR Particle Sensor With a Thermophoretic Sampling Mechanism 具有热泳采样机制的AlN FBAR粒子传感器
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Jan Martin Specht; Siavash Esfahani; Teng Hwang Tan; Florentyna Sosada-Ludwikowska; Robert Wimmer-Teubenbacher; et al 出版日期：2021-09-01 |
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