气态分子污染物对半导体器件性能的影响及防治

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标题	气态分子污染物对半导体器件性能的影响及防治
备注	苏延芬
网址	https://kns.cnki.net/kcms2/article/abstract?v=-djcopRf0qGRL1...
DOI	10.12230/j.issn.2095-6657.2025.21.031 doi
求助人	scscsd 在 2026-01-13 08:38:06 发布自美国，悬赏 10 积分
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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