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 Plasma etching of ZnS, ZnSe, CdS, and CdTe in electron cyclotron resonance CH4/H2/Ar and H2/Ar discharges 电子回旋共振CH4/H2/Ar和H2/Ar放电中ZnS、ZnSe、CdS和CdTe的等离子体刻蚀
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：S. J. Pearton 出版日期：1993-01-01 |
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