| 标题 |
 Charge trapping analysis of Al2O3 films deposited by atomic layer deposition using H2O or O3 as oxidant 以H2O或O3为氧化剂的原子层沉积Al2O3薄膜的电荷俘获分析
相关领域
俘获
原子层沉积
材料科学
电介质
压力（语言学）
电容
电容器
沉积（地质）
光电子学
图层（电子）
电导
高-κ电介质
电压
分析化学（期刊）
化学
电极
纳米技术
凝聚态物理
电气工程
哲学
物理化学
生态学
语言学
工程类
生物
古生物学
色谱法
物理
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Mireia Bargalló González; J.M. Rafı́; O. Beldarrain; M. Zabala; F. Campabadal 出版日期：2012-11-09 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
GingerF
辛勤的诗柳
唐泽雪穗
彩虹儿
大气的幻天
GIINJIU
YifanWang
tuanheqi
dongjingbutaire
pearson
carols
刘厚麟
光亮的代云
萌萌麻麻
路人甲
Rita
GPTea
Thien
環宸
小花排草
科目三
浮浮世世
JW
打工小房
小二郎
whoKnows
CAP
所所
皖公网安备34019202002308
